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怎么保证真空泵的抽气速率呢

2019/6/15    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

  为了让小尺度的真空泵的抽气速率与大尺度真空泵的抽气速率相匹配,就需求进步它的转速。而想要改动真空泵的转速有两种办法,一是改动电源的频率,即选用变频器;二是改动齿轮箱的传动比。其间,选用变频器的优点是能够供给一个闭环控制,但在大负载下简单引起扭距的丢失。



  而改动齿轮箱的传动比是一种十分经济的办法,当然,它只能供给不可控的单一转速,现在,能够看到干式真空泵有着如此多的不同规划,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,运用本钱是一个影响人们挑选真空泵的重要因素。

  越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运转的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外犯错会引起机器的运用功率下降,影响到晶圆的出产和交货期,乃至形成所加工晶圆的作废和机器其它部件的损坏。因为螺杆式规划为单级规划,同多级泵如圆裂片式,爪式以及组合式比较。

  其在零件的运用数量上削减了60百分之。这使得其在稳定性和将来的修理本钱上有很大的优势。以上材料由马力机电厂家供给共享,马力机电公司专业出产:无油真空泵、旋片无油真空泵泵、活塞真空泵、小型真空泵、微型真空泵、螺杆真空泵,等产品需求了解更多产品可查看官网。

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