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　　爪式泵是为半导体工业展开而研制的，它有如下一些特征：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生；抽气原件为非接触式的可完结高速作业（3000r/min）；与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损；在泵腔内气流笔直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于打扫。

　　该泵型式多样，功用可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有进口处防反流的阀门，出口处有截流阀，电气监控及报警装置；齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑。

　　第二、三、四级均有净化气体进口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需求的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分，别调度，互相都是独立的，以确保节约惰性气体，运用三个电磁阀可微调其流量。

　　进口防返流阀能将被抽容器与泵腔距离，出口处截流阀能将泵的出口关闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系统有可靠的保护，杜绝了向真空室的返流，电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。

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