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不同种类的真空泵压强规模也不一样,今天真空泵厂家为您介绍一下。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的办法对被抽容器进行抽气而获得真空的器材或设备。浅显来讲,真空泵是用各种办法在某一关闭空间中改进、产生和维持真空的设备。
真空泵种类 工作压强规模(Pa) 起动压强(Pa)
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105
旋片真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
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