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　　近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已经被无油清洁的真空系统所代替。

　　干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在国外目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备。

　　干式螺杆真空泵结构主要由螺杆转子、壳体、冷却循环和密封材料构成。传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子的旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑。轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似。一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用连轴器与转子连接，极少数用皮带或者链传动。

　　干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术，降低排气口的温度，增大转子面积利用率等问题仍然很棘手，当抽取一些活泼气体时，由于排气温度高，安全性也是需要设计中考虑的，用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研究方向，但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩机在行业内的统治地位一样。

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