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　　关于干式真空泵的五种形式

　　干式真空泵的应用规模广泛，其中和它的五种方式有一定的联系，不知道你们关于干式真空泵的五种方式了解多少，不了解也没关系，本文就为我们介绍这方面的知识。

　　一、组合式(罗茨+爪)

　　组合式(罗茨+爪)规划用罗茨来进步在较低压力下的抽气功率，用爪来进步在较高压力下的抽气功率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式规划相同。也有些厂家将其最后一级改为星型规划，这样能够在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式规划能够将其分为三份。

　　二、内部紧缩型螺杆式

　　螺杆间容积的不断减小使得其内部产生紧缩。在很多工艺中，这种内部紧缩同多级泵相同，简单造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

　　三、双圆裂片式

　　双圆裂片式的多级规划使得气体通路相当杂乱，而且每一级都需求较大流量的氮气起到稀释和阻隔效果。一起，为了到达好的真空度，对各级的空隙有十分严厉的要求。当然，这种规划因为增加了内部的紧缩比而使得其耗电量相对较低。

　　四、三叶圆裂片式

　　三叶圆裂片式规划和上述方式规划的原理相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。为了进一步下降耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。

　　五、外部紧缩型螺杆式

　　在外部紧缩型螺杆式规划中，运用一对等距螺杆。这使得内部紧缩减小，一起使得气体通路简单。这样，气体在泵体内停留的时间也短。这种规划但在杂乱的半导体工艺中表现出的稳定性十分强。

　　以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多的知识，您可以浏览我们的网站，我们会为您提供更专业的信息。

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